Nano-impression par moule souple pour les méta-surfaces actives
Résumé
Nous présentons les résultats de mesure des déformations grand champ intervenant lors de lithographies par nano-impression via un moule souple intermédiaire, en vue d'appliquer cette technique grande surface et bas cout à la réalisation de métasurfaces actives demandant l'utilisation de procédés technologiques multi-niveaux.
| Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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